特許

J-GLOBAL ID：200903054849158641

微小可動デバイス

発明者： 森 恵一
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095841
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296516
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 固定電極が形成される固定基板に更に粘着解消電極を付加形成して可動電極板が固定基板に対して貼着することを防止する微小可動デバイスを提供する。【解決手段】 マイクロマシニング技術で製造され、固定電極80が形成される固定電極基板8と、アンカー部11およびフレクチュア21を介して固定枠1’に取り付け結合され、固定電極基板8に対して垂直方向に変位する可動電極板2とを有する微小可動デバイスにおいて、固定電極基板8に固定電極80の他に粘着解消電極84を付加形成した微小可動デバイス。

請求項（抜粋）：

マイクロマシニング技術で製造され、固定電極が形成される固定電極基板と、アンカー部およびフレクチュアを介して固定枠に取り付け結合され、固定電極基板に対して垂直方向に変位する可動電極板とを有する微小可動デバイスにおいて、固定電極基板に固定電極の他に粘着解消電極を付加形成したことを特徴とする微小可動デバイス。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00

FI (2件)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00

Fターム (5件)：

2H041AA15 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 可変容量コンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-169187   出願人：株式会社村田製作所
• 光スイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-212336   出願人：日本航空電子工業株式会社