特許
J-GLOBAL ID：200903054857168621

ロボット制御装置

発明者：
前谷 治男

前谷 治男 について

, 
梅田 哲

梅田 哲 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-317661
公開番号（公開出願番号）：特開2009-136981
出願日： 2007年12月07日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】収納体から被搬送物を搬出入して交換する時間を短縮させると共にロボットの動作の調整作業を容易にすることができるロボット制御装置を提供する。【解決手段】制御部14は、前進動作手段により、直線補間のもと、第1ハンド部材28を所定のカセット24に向かって前進するように直進動作させる。同時に、回避動作手段により、前進動作手段による第1ハンド部材28の直進動作に同期させて、第2ハンド部材30をW2軸29を中心に反時計方向回りに回動させる。次に、第1ハンド部材28にカセット24内の半導体ウェハ23を保持させる。次に、後退動作手段により、直線補間のもと、第1ハンド部材28をカセット24から後退するように直進動作させる。同時に、復帰動作手段により、後退動作手段による第1ハンド部材28の直進動作に同期させて、第2ハンド部材30を時計方向回りに回動させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
収納体から被搬送物を搬出入するロボットを制御するロボット制御装置であって、 前記ロボットは、一方端がアーム駆動軸を介して回動可能に支持されるアーム機構と、前記アーム機構の他方端に第1駆動軸を介して支持されると共に前記被搬送物を保持することができる第1ハンド部材と、前記アーム機構の他方端に、前記第1駆動軸と同軸に設置された第2駆動軸を介して支持されると共に前記被搬送物を保持することができる第2ハンド部材とを含み、 前記第1ハンド部材を前記収納体に向かって前進するように直進動作させる前進動作手段と、 前記第1ハンド部材の前記前進する直進動作に同期させて、前記収納体との干渉を回避するように前記第2ハンド部材を回動させる回避動作手段と、 前記第1ハンド部材を前記収納体から後退するように直進動作させる後退動作手段と、 前記第1ハンド部材の前記後退する直進動作に同期させて、前記回避動作手段により回動させる前の位置に戻る方向に前記収納体との干渉を回避するように前記第2ハンド部材を回動させる復帰動作手段とを備えた、ロボット制御装置。
IPC (4件)：
B25J 15/00 ,  B25J 13/00 ,  B25J 9/06 ,  H01L 21/677
FI (4件)：
B25J15/00 Z ,  B25J13/00 Z ,  B25J9/06 D ,  H01L21/68 A
Fターム (18件)：
3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007BT14 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007HT16 ,  3C007LU02 ,  3C007MS05 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031PA02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-016385   出願人：株式会社ジェーイーエル
  • ダブルアーム基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-351463   出願人：タツモ株式会社
  • 基板搬送用ロボット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-381449   出願人：株式会社安川電機

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