特許
J-GLOBAL ID：200903054874270502

面型光素子、面型光素子実装体、その作製方法、およびそれを用いた光配線装置

発明者：
尾内 敏彦

尾内 敏彦 について

, 
廣瀬 太

廣瀬 太 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-218163
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033546
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】部品点数の増加やプロセス制御性の向上を必要とせずに、光導波体と面型光素子のアライメント精度を向上させ、光導波体の固定作業も容易にして生産性を向上させ、低コスト化を図る面型光素子である。【解決手段】面型光素子5の表面に、面型光素子5との光結合が可能なように光導波体16を差し込んで固定するためのガイド穴4が形成される。ガイド穴4は、光感光性あるいは電子ビーム硬化性を持ちホトリソグラフィでパターニングすることで選択的に硬化が可能な厚膜材料3で形成してある。
請求項（抜粋）：
発光または受光が可能な面型光素子であって、光導波体を該面型光素子との光結合が可能なように差し込んで固定するためのガイド穴を、該面型光素子の表面に、光感光性あるいは電子ビーム硬化性を持ちホトリソグラフィでパターニングすることで選択的に硬化が可能な厚膜材料で形成してあることを特徴とする面型光素子。
IPC (4件)：
H01S 5/022 ,  G02B 6/42 ,  H01L 31/0232 ,  H01S 5/183
FI (4件)：
H01S 5/022 ,  G02B 6/42 ,  H01S 5/183 ,  H01L 31/02 C
Fターム (26件)：
2H037AA01 ,  2H037BA02 ,  2H037BA05 ,  2H037BA11 ,  2H037BA14 ,  2H037DA04 ,  2H037DA06 ,  2H037DA11 ,  2H037DA17 ,  5F073AA65 ,  5F073AA74 ,  5F073AB17 ,  5F073BA09 ,  5F073CA04 ,  5F073CB22 ,  5F073CB23 ,  5F073DA23 ,  5F073EA29 ,  5F073FA07 ,  5F073FA13 ,  5F088BA18 ,  5F088BB10 ,  5F088EA02 ,  5F088EA09 ,  5F088JA14 ,  5F088JA20
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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