感放射線性塗布組成物及び半導体製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-345449
公開番号（公開出願番号）：特開平9-160229
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】本発明は、エッチング工程、イオン注入工程等の半導体製造工程において、各ウェハー毎にその工程の履歴の有無が目視にて容易に識別できる感放射線性塗布組成物及びその組成物を用いる半導体製造方法を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、溶媒及び感放射線化合物を含む感放射線性塗布組成物において、該組成物にpH(酸塩基性度)値に相応して色調が変化する色素を含有させることよりなる感放射線性塗布組成物、及び該感放射線性塗布組成物を半導体製造工程に用いる半導体製造方法。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、溶媒及び感放射線化合物を含む感放射線性塗布組成物において、該組成物にpH値の変化に相応して変色を呈する色素を含有させることを特徴とする感放射線性塗布組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 507 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/40 521 , H01L 21/027 , H01L 21/3065

FI (6件)：

G03F 7/004 507 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/302 H

引用特許：

審査官引用 (9件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-334291 出願人：三菱化学株式会社, コニカ株式会社
特開平4-303838
特開平3-235951

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