特許

J-GLOBAL ID：200903054905056024

感光性樹脂組成物

発明者： 有光 晃二
出願人/特許権者： 学校法人東京理科大学
代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-112835
公開番号（公開出願番号）：特開2009-080452
出願日： 2008年04月23日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

【課題】光の照射により塩基を発生させる際に脱炭酸反応を伴うことがなく、膜強度の高い硬化膜が得られるうえ、高温耐性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】光の照射により、脱炭酸反応を伴うことなくアミン化合物を発生する一般式(1)で表される光環化型の光塩基発生剤と、塩基反応性樹脂と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物によれば、高温耐性に優れ、膜強度の高い硬化膜が得られる。[一般式(1)中、Zはアミノ基を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

塩基反応性樹脂と、下記一般式(1)で表される光塩基発生剤と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/38 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/004 503B ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/38 511 ,  H01L21/30 502R

Fターム (23件)：

2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB30 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096EA03 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-000950   出願人：国立大学法人東京工業大学, 旭化成エレクトロニクス株式会社