特許

J-GLOBAL ID：200903055075293776

非接触保持装置

発明者： 田原 良祐 ,  竹内 秀年 ,  深川 陽平
出願人/特許権者： 村田機械株式会社
代理人 (5件)： 廣江 武典 ,  武川 隆宣 ,  ▲高▼荒 新一 ,  中村 繁元 ,  西尾 務
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-097261
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278831
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】外乱や、ワークへの偏荷重、変形などがあっても、非接触状態を保つことができる非接触保持装置を提供する。【解決手段】非接触保持装置5は、ワークを非接触状態で保持する装置であって、そのワーク対向面1の中央部に、ワークを吸引する吸引力を発生させる吸引力発生部2を配置するとともに、該ワーク対向面1の外周部に、該ワークを非接触状態に反発させる反発力を発生させる反発力発生部3を配置した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ワークを非接触状態で保持する装置であって、そのワーク対向面の中央部に、ワークを吸引する吸引力を発生させる吸引力発生部を配置するとともに、該ワーク対向面の外周部に、該ワークを非接触状態に反発させる反発力を発生させる反発力発生部を略全周にわたって配置した非接触保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L21/68 C ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 H

Fターム (6件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA28 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板移載装置及び基板移載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-097107   出願人：富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-229750
  
• 無接触吸着具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-038060   出願人：明石博
• 薄板の搬送方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-261508   出願人：株式会社日本設計工業, 東レエンジニアリング株式会社
• 半導体装置の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-336967   出願人：株式会社東芝