特許
J-GLOBAL ID：200903042977392675

基板移載装置及び基板移載方法

発明者：
北野 勝

北野 勝 について


出願人/特許権者：
富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社

富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-097107
公開番号（公開出願番号）：特開2004-304055
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】本発明は、ワイヤ支持方式のカセットであっても、通常のロボットを用いてガラス基板を容易に出し入れすることのできる基板移載装置及び基板移載方法を提供することを課題とする。【解決手段】基板移載装置11は、ワイヤ支持方式により基板を多段に収容するカセット10に対して基板を出し入れする。基板移載装置11は、水平方向に移動可能に構成された上側ハンド11-1と、水平方向に移動可能であり且つ垂直方向にも移動可能に構成された下側ハンドと11-2とを有する。下側ハンド11-2から垂直上方向に延在する支持ピン12が下側ハンド11-2に設けられる。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
基板を多段に収容するカセットに対して基板を出し入れする基板移載装置であって、 水平方向に移動可能に構成された上側ハンドと、 水平方向に移動可能であり且つ垂直方向にも移動可能に構成された下側ハンドと 該下側ハンドに設けられ、該下側ハンドから垂直上方向に延在する基板支持部と を有することを特徴とする基板移載装置。
IPC (4件)：
H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07
FI (5件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/68 V ,  B25J15/08 Z ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 L
Fターム (21件)：
3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS26 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV02 ,  3C007EV06 ,  3C007LV09 ,  3C007NS12 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA03 ,  5F031GA04 ,  5F031GA05 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50
引用特許：
審査官引用 (4件)
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