曲率可変ミラーの曲率調整方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三好秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140323
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326084
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】ベンドミラーの反射面の曲率を自在に変化せしめて、1つの集光レンズでスポット径に適正に制御し、安定したレーザ加工を実現する。【解決手段】レーザビームLBを曲率可変ミラー21で反射してレーザ加工ヘッド5内の集光レンズ7で集光せしめる際、前記曲率可変ミラー21の反射面Mが凹面で薄肉円盤形状をなすと共にこの曲率可変ミラー21の背面に備えた封じ切り可能な気密式の加圧室25にガス供給路29から気体圧を正圧で増大するよう流入せしめるに伴って、反射面Mの曲率を凹面から凸面へと変化せしめる。上記の気体圧力の加減圧を正圧で調整制御することにより反射面Mの曲率の変化量を調整する。曲率可変ミラー21の反射面Mの曲率を自在に変化せしめることにより、レーザビームLBの伝搬に伴う光波面曲率を変換し変化量を小さく押さえることが可能であるので、ワークに対する焦点位置が安定する。

請求項（抜粋）：

レーザビームを曲率可変ミラーで反射させレーザ加工ヘッド内の集光レンズで集光せしめる際、前記曲率可変ミラーの反射面が凹面で薄肉円盤形状をなすと共にこの曲率可変ミラーの背面に備えた気体圧を封じ切り可能な気密式の加圧室に気体供給路から気体圧を正圧で増大するよう流入せしめるに伴って、加工されるワークの板厚に対応した焦点長さとスポット径を常に維持するように、前記気体圧力の加減圧を調整制御することにより前記反射面を常に適正な曲率に調整することを特徴とする曲率可変ミラーの曲率調整方法。

IPC (6件)：

B23K 26/06 , B23K 26/00 , B23K 26/04 , G02B 5/10 , G02B 7/198 , G02B 27/09

FI (6件)：

B23K 26/06 Z , B23K 26/00 M , B23K 26/04 C , G02B 5/10 B , G02B 7/18 C , G02B 27/00 E

Fターム (14件)：

2H042DD05 , 2H042DD12 , 2H042DE06 , 2H042DE07 , 2H043BB03 , 2H043BC06 , 4E068CA07 , 4E068CA11 , 4E068CA12 , 4E068CA13 , 4E068CB03 , 4E068CB06 , 4E068CC00 , 4E068CD12

引用特許：

出願人引用 (7件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-125131 出願人：三菱電機株式会社
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-245272 出願人：株式会社田中製作所
レ-ザ加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-256112 出願人：日清紡績株式会社

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審査官引用 (7件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-125131 出願人：三菱電機株式会社
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-245272 出願人：株式会社田中製作所
レ-ザ加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-256112 出願人：日清紡績株式会社

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