特許
J-GLOBAL ID：200903055117383509
鏡面ウェーハの接合装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-350867
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189406
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 自動的に、ボイドを発生させることなくウェーハの接合を行う。【解決手段】 第1の鏡面ウェーハを複数枚収納する第1の収納部23と、第2の鏡面ウェーハを複数枚収納する第2の収納部24と、第1の鏡面ウェーハおよび第2の鏡面ウェーハを支持可能な、水平方向に対して所要の角度をなして固定されたウェーハの支持台4と、第1の収納部23から第1の鏡面ウェーハを1枚宛取出し、支持台4にその鏡面側を上方に向けて支持させると共に、第2の収納部24から第2の鏡面ウェーハを1枚宛取出してその鏡面側を支持台4に支持されている第1の鏡面ウェーハの鏡面側と対向させて第1の鏡面ウェーハに重ね合わせるようにして支持台4に支持させるロボット装置25と、上記重ね合わせられた第2の鏡面ウェーハを第1の鏡面ウェーハ側に押圧する押圧装置31とを具備することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
同形の2枚のウェーハの鏡面同士を重ね合わせて接合するための装置であって、第1の鏡面ウェーハを複数枚収納する第1の収納部と、第2の鏡面ウェーハを複数枚収納する第2の収納部と、前記第1の鏡面ウェーハおよび前記第2の鏡面ウェーハを支持可能な、水平方向に対して所要の角度をなして固定されたウェーハの支持台と、前記第1の収納部から第1の鏡面ウェーハを1枚宛取出し、前記支持台にその鏡面側を上方に向けて支持させると共に、前記第2の収納部から第2の鏡面ウェーハを1枚宛取出してその鏡面側を前記支持台に支持されている第1の鏡面ウェーハの鏡面側と対向させて第1の鏡面ウェーハに重ね合わせるようにして前記支持台に支持させるロボット装置と、上記重ね合わせられた第2の鏡面ウェーハを第1の鏡面ウェーハ側に押圧する押圧装置とを具備することを特徴とする鏡面ウェーハの接合装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, H01L 21/68
, H01L 27/00 301
H01L 21/02 B
, H01L 21/68 G
, H01L 27/00 301 B
