特許
J-GLOBAL ID：200903055192930990
ガラス基板成膜用治具
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-380294
公開番号（公開出願番号）：特開2004-211133
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】スパッタリング装置内でガラス基板とマスク板との位置合わせおよびその固定を簡単に行うことができるようにする。【解決手段】ガラス基板100をスパッタリング装置内のスパッタホルダにセットする際に用いられるガラス基板成膜用治具であって、スパッタホルダに支持され、ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板200と、ガラス基板100の反マスク面側に配置され、マグネットMによる磁気的吸着力によりマスク板200に対してガラス基板100を押し付ける押え板300とを含み、マスク板200自体にガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段(係止鉤210と基板載置台220)を備えさせた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
スパッタリング装置でガラス基板の片面に膜を成膜する際に、上記ガラス基板を上記スパッタリング装置内のスパッタホルダにセットするためのガラス基板成膜用治具であって、
上記スパッタホルダに支持され、上記ガラス基板の所定部位をマスクする磁性体からなるマスク板と、上記ガラス基板の反マスク面側に配置され、マグネットによる磁気的吸着力により上記マスク板に対して上記ガラス基板を押し付ける押え板とを含み、上記マスク板自体に、上記ガラス基板の位置決めを兼ねた基板保持手段を備えていることを特徴とするガラス基板成膜用治具。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029DC00
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
, 4K029JA06
