特許

J-GLOBAL ID：200903055206871878

半導体処理装置、半導体処理システムおよび半導体処理管理方法

発明者： 松 下 博
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 吉武 賢次 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-199308
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017378
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】 検査処理において異常な結果データが発生した場合に、短時間でかつ容易に原因調査および除去をすることができる半導体処理装置、半導体処理システムおよび半導体処理管理方法を提供する。【解決手段】 本発明による半導体処理装置は、処理の対象となる半導体基板とその処理条件に従って処理する処理部22と、処理時の半導体基板の動画を撮像する撮像部24と、処理条件と処理結果と撮像部からの動画とを処理ごとに互いに関連付け、処理結果が所定の条件を満たすか否かを判定する処理制御部26と、互いに関連付けられた処理条件と処理結果と動画とを含む動画像情報を、所定の条件を満たす処理結果を有する正常動画像情報および所定の条件を満たさない処理結果を有する異常動画像情報とに区別して記憶する記憶部32と、前記異常動画像情報を出力する出力部38とを備える。

請求項（抜粋）：

半導体基板を処理するための処理条件に従って該半導体基板を処理する処理部と、前記処理部による処理時の前記半導体基板の動画を撮像する撮像部と、前記処理条件と前記処理部からの処理結果と前記動画とを処理ごとに互いに関連付け、前記処理結果が所定の条件を満たすか否かを判定する処理制御部と、互いに関連付けられた前記処理条件、前記処理結果および前記動画を含む動画像情報を、前記所定の条件を満たす正常処理結果を有する正常動画像情報および前記所定の条件を満たさない異常処理結果を有する異常動画像情報に区別して記憶する記憶部と、少なくとも前記異常動画像情報を出力する出力部とを備えた半導体処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/66 ,  G01N 21/956

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/956 A

Fターム (18件)：

2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051EB01 ,  2G051FA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ27 ,  4M106DJ38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-307574   出願人：日本電気株式会社
• 半導体製造工程管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-244102   出願人：沖電気工業株式会社

審査官引用 (2件)

• 半導体製造工程管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-244102   出願人：沖電気工業株式会社
• 記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-307574   出願人：日本電気株式会社