特許

J-GLOBAL ID：200903055232627780

欠点検査方法及び欠点検査装置

発明者： 三宅 淳司
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-022157
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208702
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 ハレーションを防いで欠点を感度良く検出することができる欠点検査方法及び欠点検査装置を提供する。【解決手段】 光源12から板ガラス11の所定の領域に検査光が照射され、その所定の領域からの拡散反射光は、前記所定の領域からの正反射光の光軸Lrから外れた位置に配設されたラインCCDカメラ13で受光される。光源12からラインCCDカメラ13に照射されてハレーションの原因となる光は、光源12の虚像12’とラインCCDカメラ13とを結ぶ線分X上に配設され、かつ板ガラス11とラインCCDカメラ13との間に配設された遮光板14で遮られる。ラインCCDカメラ13の視軸13aと正反射光の光軸Lrとのなす角度は3〜20°である。

請求項（抜粋）：

光源から検査対象物の所定の領域に検査光を照射して、その所定の領域からの拡散反射光を、前記所定の領域からの正反射光の光軸から外れた位置に配設された受光手段で受光する欠点検査方法において、前記光源から受光手段に照射されてハレーションの原因となる光を、光源の虚像と受光手段とを結ぶ線分上に配設され、かつ検査対象物と受光手段との間に配設された遮光手段で遮ることを特徴とする欠点検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/30 A ,  G01B 11/30 H

Fターム (29件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065DD09 ,  2F065DD12 ,  2F065FF02 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG14 ,  2F065HH12 ,  2F065HH15 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065LL30 ,  2F065PP11 ,  2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-175639   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-227792   出願人：富士写真フイルム株式会社