特許
J-GLOBAL ID：200903055284439869

荷電粒子ビーム走査式装置

発明者：
山本 健次郎

山本 健次郎 について

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亀谷 雅嗣

亀谷 雅嗣 について

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郡司 康弘

郡司 康弘 について

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宮井 裕史

宮井 裕史 について

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船津 隆一

船津 隆一 について

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二宮 拓

二宮 拓 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059409
公開番号（公開出願番号）：特開2002-260570
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：
【要約】【課題】 ディジタル偏向方式の荷電粒子ビーム走査式装置において、高精度化(分解能向上)と高速化(検査時間短縮)を同時に実現し、かつ検査速度の可変速機能を実現する。【解決手段】 偏向制御信号100を出力する偏向制御手段11の出力回路にノイズを十分除去できるフィルタを挿入し、フィルタを含む遅れ成分1により生ずる走査波形歪みを遅れ補正手段18で補正して、少なくとも画像取り込みタイミングで偏向制御信号100の値が設計値と一致するようにする。具体的には遅れ成分1を1次、2次遅れ要素で近似し、その時定数からステップ状信号を補正信号として用いる。また上記フィルタ帯域を、画像取り込みタイミング以外での補正ずれを所定値以下とするように設計し、これによって画像取り込みタイミング以外でも所定位置誤差内で画像取り込みを行えるようにする。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを偏向する偏向手段と、この偏向手段による荷電粒子ビームの偏向を制御するための走査信号を生成する偏向制御手段とを備えた荷電粒子ビーム走査式装置において、前記偏向制御手段は、与えられた制御出力周期ごとにその振幅値が与えられた段差量だけ増加する階段状の基本走査信号を生成する基本走査信号生成手段と、この手段により生成された基本走査信号を帯域制限するための、前記基本走査信号の出力回路に設けられたフィルタと、前記制御出力周期、前記段差量、及び前記基本走査信号が前記基本走査信号生成手段から前記偏向手段へ至るまでの前記フィルタを含む出力回路の遅延特性を表す時定数を入力として、前記出力回路の出力値が前記基本走査信号の値が階段状に変化する参照時点において前記基本走査信号の値と一致するようにするための補正信号を生成する補正信号生成手段と、この手段により生成された補正信号と前記基本走査信号とを加算する加算手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム走査式装置。
IPC (8件)：
H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  G21K 1/08 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66
FI (9件)：
H01J 37/28 B ,  G01B 15/00 B ,  G21K 1/08 ,  G21K 5/04 M ,  G21K 5/04 C ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 H ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 541 J
Fターム (27件)：
2F067AA54 ,  2F067BB01 ,  2F067CC16 ,  2F067CC17 ,  2F067EE04 ,  2F067EE10 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067QQ11 ,  2F067RR35 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB05 ,  4M106DB14 ,  4M106DJ12 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  5C033FF03 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033UU10 ,  5F056CB15 ,  5F056CB16 ,  5F056EA06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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