特許
J-GLOBAL ID：200903055317594342

含フッ素化合物、含フッ素重合性単量体、含フッ素高分子化合物、溶解抑制剤、それらを用いたレジスト材料

発明者：
成田 正

成田 正 について

, 
前田 一彦

前田 一彦 について


出願人/特許権者：
セントラル硝子株式会社

セントラル硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004262
公開番号（公開出願番号）：特開2004-217533
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】新規な含フッ素化合物を提供する。【解決手段】一般式(1)【化1】(式中、R1は、直鎖状或いは分岐状のアルキル基若しくはアルキレン基、又は芳香環基若しくは脂環式基を含む環式構造、又は芳香環基及び脂環式基の複合置換基であり、R1の一部に、フッ素、ハロゲン、CN、酸素、窒素、珪素、アルコールを含んでもよい。R2は、水素原子、直鎖状又は分岐状のアルキル基、芳香族基、炭化水素基のいずれかであり、炭化水素基は脂環式基を含んでもよい。また、R2は、フッ素、酸素、窒素、カルボニル結合、アルコールを含んでもよい。また、構造の異なる複数のR2が同一分子中に含まれてもよい。)で表される置換基を含む含フッ素化合物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
一般式(1)
IPC (6件)：
C07C69/78 ,  C07C31/20 ,  C07C43/23 ,  C07C69/653 ,  C08F14/18 ,  G03F7/004
FI (6件)：
C07C69/78 ,  C07C31/20 Z ,  C07C43/23 E ,  C07C69/653 ,  C08F14/18 ,  G03F7/004 501
Fターム (51件)：
2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006BM10 ,  4H006BM71 ,  4H006BN10 ,  4H006FC22 ,  4H006FE11 ,  4H006FE71 ,  4H006FE74 ,  4H006FG29 ,  4H006GP03 ,  4H006KC14 ,  4H006KE00 ,  4H006KF10 ,  4J100AB07Q ,  4J100AC26Q ,  4J100AE09P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL24Q ,  4J100AL26P ,  4J100AL26Q ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BB12P ,  4J100BB17P ,  4J100BB17Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53Q ,  4J100BC58P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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