極小垂直プローブ・ピン・モジュール

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229376
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021583
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ICウエハ全面ダイレクト・ピン・コンタクトを実現させウエハレベル・通電機能テストと通電温度試験を高速に実施させるのに必要な、ピン間隔100μm以下、例えば80μmの垂直プローブ・ピン・モジュールを安価な経費で実現させる為に必要な、スプリングとピンおよびハウジング技術を提供する。【解決手段】エッチング技術等を用い、貫通穴3を正確に、前もって標準格子の全ての位置に開け、一枚或いは厚みの必要に応じて複数枚を重ねた貫通穴内壁面に金属メッキを施した絶縁材に依るピン保持基盤6と、同じく少し小さめの貫通穴を開けたピン蓋ストッパー4と、全貫通穴或いは被試験ウエハのパターンに合わせた、格子位置に配線処理したピン配線付き底蓋とを準備し、これらに合わせた、垂直可動接触子としてのプランジャー1とスプリング2を多数用意しておき、ウエハ全面・ダイレクト・ピン・コンタクト・モジュールを作製する。

請求項（抜粋）：

エッチング等により絶縁基板に貫通穴を開け、一枚或いは必要に応じ所定の厚みになるよう複数枚を貼り重ね連続した貫通穴とし、その内側を金属メッキし、貫通穴の一端を線出し処理した基板で底蓋とし、必要に応じ導電液体をも入れられるようにし、その貫通穴の中に、必要な長さのスプリングを垂直方向に入れ、その上からストッパー付きの可動接触子となるプランジャーを入れ、さらに先の貫通穴より少し小さな且つストッパーが作用する穴を開けた絶縁基板で蓋をして垂直スプリング・ピンにし、この垂直スプリング・ピン構成を同一基板に複数個準備する事でピン・モジュールとする事。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 1/067 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 D , G01R 1/067 C , H01L 21/66 B

Fターム (14件)：

2G011AA09 , 2G011AB01 , 2G011AB03 , 2G011AC14 , 2G011AC21 , 2G011AD01 , 2G011AE03 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106CA60 , 4M106CA61 , 4M106DD03 , 4M106DD30

引用特許：

審査官引用 (7件)

導電性接触子ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-331826 出願人：日本発条株式会社
特開平4-270967
導通テスト用プロ-ブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-129409 出願人：サンコール株式会社

全件表示

前のページに戻る