特許
J-GLOBAL ID:200903055415500658

照明装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-146365
公開番号(公開出願番号):特開2001-326171
出願日: 2000年05月18日
公開日(公表日): 2001年11月22日
要約:
【要約】【課題】 複数の光源ランプを垂直に配置し、複数の光源の光束を合成して入射させる光学素子すなわちハエの目レンズ群などのインテグレータのNAを光源の楕円ミラーのNAと同程度とした光学構成を実現する。【解決手段】 不図示のランプ1cから発せられ、同じく不図示の楕円ミラー2cで反射された光束は、第一の折り曲げミラー3cで光路を垂直から水平に偏向された後、各々集光点cに集光される。この後、集光点cからの光束は第一のコリメータ4cを経た後第二のコリメータ6に入射する。ランプ1cから発せられた光束は、第二の折り曲げミラーを介さない。第一のコリメータ4a、4bの焦点距離f1と第二のコリメータ6の焦点距離f2の関係を、f2≧(3×f1)とする。第二コリメータ6の射出側の集光NA16も第一コリメータNAと略同じか、それ以下にする。
請求項(抜粋):
複数のランプからの光を被照明面に導光する照明装置であって、前記複数のランプの中心から発散する光線の各々を略平行な光線とする複数の第1光学手段と、該複数の第1光学手段からの略平行な光線各々が隣接して入射し、前記複数の光源の重なり合った像を形成する第2光学手段とを有することを特徴とする照明装置。
IPC (3件):
H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521
FI (3件):
G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527
Fターム (9件):
2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA07 ,  2H052BA12 ,  5F046BA03 ,  5F046CA01 ,  5F046CB03 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22
引用特許:
審査官引用 (6件)
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