窒化アルミニウムの製法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：滝田清暉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-285874
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097006
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】この発明は、アルミナをアンモニア及び炭化水素から成る混合ガス中で還元窒化反応させることにより窒化アルミニウムを製造する方法に関し、この還元窒化反応をより詳細に検討し、粒子形態に注目した生成粉末の特性評価を行なうことにより、モルフォロジーに関する解析や条件の最適化等を検討した。【解決手段】この発明は、アルミナをアンモニア及び炭化水素から成る混合ガス中で還元窒化反応させることにより窒化アルミニウム(AlN)を製造する方法において、該アルミナがδ-Al2O3及びθ-Al2O3の少なくとも一方を含むことを特徴とする窒化アルミニウムの製法である。この出発物質であるアルミナの形状を所望の形状にしておくことにより、その形状を保持したAlNを得ることができる。生成するAlNは、窒化の程度によって、完全にAlNとすることも、また未反応のAl2O3を含むAlN/Al2O3複合物(この場合には外皮部分がAlN、内部がAl2O3となる。)とすることもできる。

請求項（抜粋）：

アルミナをアンモニア及び炭化水素から成る混合ガス中で還元窒化反応させることにより窒化アルミニウムを製造する方法において、該アルミナがδ-Al2O3及びθ-Al2O3の少なくとも一方を含むことを特徴とする窒化アルミニウムの製法。

IPC (2件)：

C01B 21/072 , C04B 35/581

FI (2件)：

C01B 21/072 G , C04B 35/58 104 Q

Fターム (10件)：

4G001BA03 , 4G001BA75 , 4G001BB03 , 4G001BB36 , 4G001BC12 , 4G001BC45 , 4G001BD03 , 4G001BD05 , 4G001BD23 , 4G001BD38

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-300319
窒化アルミニウム質固形体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-206027 出願人：東芝セラミックス株式会社, 東芝モノフラックス株式会社
特開平2-300319

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