ペースト塗布機

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322455
公開番号（公開出願番号）：特開平8-173873
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【目的】基板上に塗布描画するペーストパターンについて、所望の塗布精度を得るための初期設定を簡単に、かつ短時間に実行できるようにする。【構成】ノズルのペースト吐出口と対向して基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを吐出口から基板上へ吐出させながら、ノズルと該基板との相対位置関係を変化させることにより、基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するものであって、ペーストの吐出圧を決定する複数の因子のデータを入力し、これら因子のデータからペーストの吐出圧を決定し、決定された吐出圧を用いてペーストを吐出口から基板上へ吐出させながら、ノズルと基板との相対位置関係を変化させて基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成する。特に、ペーストの吐出圧は、入力された各因子のデータについてファジィ推論処理をして決定するものである。

請求項（抜粋）：

ノズルのペースト吐出口と対向するように基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを該吐出口から該基板上へ吐出させながら該ノズルと該基板との相対位置関係を変化させ、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペースト塗布機において、ペーストの吐出圧を決定する複数の因子のデータを入力する第1の手段と、該第1の手段から入力された各因子のデータからペーストの吐出圧を決定する第2の手段と、該第2の手段で決定された吐出圧を用いてペーストを該吐出口から該基板上へ吐出させながら該ノズルと該基板との相対位置関係を変化させ、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成する手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布機。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-277573
特開平3-181362
特開昭63-299191

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