光軸偏向型レーザ干渉計、その校正方法、補正方法、及び、測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-229164
公開番号（公開出願番号）：特開2008-051696
出願日： 2006年08月25日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

【課題】光軸偏向型レーザ干渉計の基準球に対する2軸回転機構の運動精度による光軸方向の誤差を補正するための変位計を特別な校正装置を準備すること無く、校正ができ、トレーサビリティを確保する。【解決手段】測定の基準球34と、測定対象10に配設される再帰的反射手段12と、該再帰的反射手段12との距離を測定するレーザ干渉測長機20と、前記基準球34を中心として回動するための回動機構30とを有し前記基準球34の中心座標を基準とし前記回転機構30に載ったレーザ干渉測長機20からの出射光と戻り光の光軸が平行となる再帰的反射手段12との距離を測定する光軸偏向型レーザ干渉計において、前記基準球34とレーザ干渉測長機20との相対運動による誤差を測定する変位計50R、50Lと前記レーザ干渉測長機20と変位計50R、50Lの相対位置関係を保ったままで基準球34に対して測定光軸方向に変位させる機構(52)とを備える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

測定の基準をなす基準球と、測定対象に配設される再帰的反射手段と、該再帰的反射手段との距離の増減に応じて測定値を出力するレーザ干渉測長機と、該レーザ干渉測長機の出射ビームを前記基準球を中心として回動するための回転機構とを有し、前記基準球の中心座標を基準とし、前記回転機構に載ったレーザ干渉測長機からの出射光と戻り光の光軸が平行となる再帰的反射手段との距離を測定する光軸偏向型レーザ干渉計において、前記基準球とレーザ干渉測長機との相対運動による誤差を測定する変位計と、前記レーザー干渉測長機と変位計の相対位置関係を保ったままで、これらを基準球に対して測定光軸方向に変位させる機構と、を備えたことを特徴とする光軸偏向型レーザ干渉計。

IPC (2件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00

FI (3件)：

G01B9/02 , G01B11/00 G , G01B11/00 B

Fターム (30件)：

2F064AA01 , 2F064AA15 , 2F064DD01 , 2F064DD02 , 2F064DD09 , 2F064DD10 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064GG15 , 2F064GG22 , 2F064HH05 , 2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA20 , 2F065BB07 , 2F065EE05 , 2F065FF55 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065LL16 , 2F065LL46 , 2F065MM07 , 2F065MM08 , 2F065PP04 , 2F065PP05 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065RR09

引用特許：

出願人引用 (4件)

ヨーロッパ特許 EP0919830A2号公報
追尾式レーザ干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266097 出願人：工業技術院長, 株式会社東京精密
特開昭61-170602

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