特許
J-GLOBAL ID：200903055549851155

重合体組成物及びナノオーダーパターン形成方法

発明者：
豊泉 貴司

豊泉 貴司 について

, 
梶田 徹

梶田 徹 について

, 
服部 岩和

服部 岩和 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  樋口 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-200723
公開番号（公開出願番号）：特開2005-041931
出願日： 2003年07月23日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】ナノオーダーの微細パターンを形成する重合体組成物及び該重合体組成物により微細加工を行う工程を提供する。【解決手段】重合体及び重合体を溶解する溶剤を含む重合体組成物であって、径が200nm以下の異物含有量が10個/ml以下で且つ200nm以上の異物含有量が1個/ml以下である重合体組成物を提供する。この重合体組成物を用いてナノオーダーパターンを形成するナノオーダーパターンの形成方法を提供する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
重合体及び前記重合体を溶解する溶剤を含む重合体組成物であって、径が200nm以下の異物含有量が10個/ml以下で且つ200nm以上の異物含有量が1個/ml以下である重合体組成物。
IPC (7件)：
C08L101/00 ,  C08G69/00 ,  C08G77/442 ,  C08J5/18 ,  C08L53/02 ,  C08L77/00 ,  C08L83/10
FI (7件)：
C08L101/00 ,  C08G69/00 ,  C08G77/442 ,  C08J5/18 ,  C08L53/02 ,  C08L77/00 ,  C08L83/10
Fターム (59件)：
4F070AA06 ,  4F070AA18 ,  4F070AA54 ,  4F070AA60 ,  4F070AB08 ,  4F070AB09 ,  4F070BA10 ,  4F070BB08 ,  4F070CA16 ,  4F070CB11 ,  4F071AA02 ,  4F071AA12X ,  4F071AA22X ,  4F071AA54X ,  4F071AA67X ,  4F071AA75X ,  4F071AG28 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BC01 ,  4F071BC17 ,  4J001DA01 ,  4J001DA10 ,  4J001DB05 ,  4J001DC01 ,  4J001EA13 ,  4J001EA14 ,  4J001EE65A ,  4J001FA03 ,  4J001FB01 ,  4J001FC01 ,  4J001GA01 ,  4J001GA11 ,  4J001GD06 ,  4J001GD10 ,  4J001JA12 ,  4J001JC08 ,  4J002BP011 ,  4J002CL091 ,  4J002CP171 ,  4J002HA03 ,  4J246AA03 ,  4J246AB02 ,  4J246BA02X ,  4J246BA020 ,  4J246BB020 ,  4J246BB021 ,  4J246BB022 ,  4J246CA24X ,  4J246CA240 ,  4J246EA03 ,  4J246FA291 ,  4J246FA431 ,  4J246FA792 ,  4J246FE32 ,  4J246FE40 ,  4J246GB04 ,  4J246GB33 ,  4J246GD08
引用特許：
審査官引用 (9件)
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