特許
J-GLOBAL ID：200903055631676221
光走査装置、光書込装置及び画像形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鈴木 誠
, 大浦 一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-202387
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043612
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】振動ミラーを用いた光走査装置におけるミラー振動空間の封止構造の改良【解決手段】静電駆動型の振動ミラー200を用いた光走査装置。振動ミラー200の可動電極206及び固定電極208のための電極パッド207,209が形成された面にベース基板231が接合され、振動ミラーの他方の面にガラスなどからなるカバー基板230が接合されることにより、振動ミラーのミラー部201の振動空間が気密封止される。ベース基板231は回路基板に実装時の電気的接続のためのリード端子234を有し、このリード端子234と電極パッド207,209とは、はんだボール235により電気的に接続される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
往復振動可能なミラー部を有する振動ミラーと、
前記振動ミラーの前記ミラー部の駆動のための電極パッドが形成された第1の面に接合された、光を透過するカバー基板と、
前記振動ミラーの前記第1の面と反対側の第2の面に接合されたベース基板とを具備し、
前記カバー基板及び前記ベース基板により前記ミラー部の振動空間が気密封止され、
前記カバー基板は前記振動ミラーの前記第1の面において前記電極パッドと電気的に接続された貫通電極を有し、
前記ベース基板は、回路基板との電気的接続のための端子もしくは電極を有することを特徴とする光走査装置。
IPC (3件)：
G02B26/10
, B41J2/44
, H04N1/113
G02B26/10 104Z
, B41J3/00 D
, H04N1/04 104Z
2C362BA17
, 2C362DA01
, 2C362DA17
, 2H045AB02
, 2H045AB08
, 2H045AB10
, 2H045AB16
, 2H045DA02
, 5C072AA03
, 5C072BA02
, 5C072FB27
, 5C072HA02
, 5C072HA14
, 5C072XA01
, 5C072XA05
