特許
J-GLOBAL ID：200903055742004745

表面検査装置及び方法

発明者：
磯崎 久

磯崎 久 について

, 
吉川 浩

吉川 浩 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153217
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337844
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 異物の高さ検出での誤差を軽減できる表面検出装置及び方法を提供する。【解決手段】 表面検査装置が、光源と、その光源からの光束で検査表面を所定の傾斜角度で照明する照明光学系と、該検査表面からの散乱反射光を受光する第1受光光学系と、第1受光光学系で受けとられた散乱反射光を受光する第1受光部と、上記検査表面からの鏡面反射光を受光する第2受光光学系と、第2受光光学系で受けとられた鏡面反射光を受光する第2受光部と、上記第1受光部からの第1信号に基づき上記検査表面にある異物の大きさを求め、また上記第2受光部からの第2信号に基づき上記検査表面にある異物の高さを求める制御演算部とを有する。上記制御演算部において、求められた異物の大きさが上記検査表面に照明された光束の径と略等しいかそれ以上である場合に、第2信号に基づき上記検査表面にある異物の高さを求める。
請求項（抜粋）：
光源と、その光源からの光束で検査表面を所定の傾斜角度で照明する照明光学系と、該検査表面からの散乱反射光を受光する第1受光光学系と、第1受光光学系で受けとられた散乱反射光を受光する第1受光部と、上記検査表面からの鏡面反射光を受光する第2受光光学系と、第2受光光学系で受けとられた鏡面反射光を受光する第2受光部と、上記第1受光部からの第1信号に基づき上記検査表面にある異物の大きさを求め、また上記第2受光部からの第2信号に基づき上記検査表面にある異物の高さを求める制御演算部とを有し、上記制御演算部は、求められた異物の大きさが上記検査表面に照明された光束の径と略等しいかそれ以上である場合に、第2信号に基づき上記検査表面にある異物の高さを求めるように構成されていることを特徴とする表面検査装置。
IPC (6件)：
G01B 11/30 ,  G01B 11/02 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/956 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66
FI (6件)：
G01B 11/30 A ,  G01B 11/02 Z ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 A
Fターム (73件)：
2F065AA12 ,  2F065AA21 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065DD00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF44 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ17 ,  2F065NN19 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA04 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA43 ,  4M106DB02 ,  4M106DB08 ,  4M106DB11 ,  4M106DB19 ,  4M106DB20 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ14 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA02 ,  5B057DA03 ,  5B057DC22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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