ウェハの研磨装置及びウェハの研磨方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：畑泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058318
出願日： 1996年08月12日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】安定して、然も正確に研磨操作に於ける平坦化完了時点を検出する事が出来、然も繰り返し信頼性の高いウェハの研磨装置及びウェハの研磨方法を提供する。【解決手段】研磨パッド7を主表面に有する回転テーブル6、研磨パッド6にウェハ2の被研磨面が対向して配置される様に該ウェハ2を保持し、且つ当該研磨パッド7の研磨面と該ウェハ2の被研磨面とが所定の間隔を介して配置設定される様に制御されながら、所定の速度で回転せしめられる複数のスピンドル部1、及び当該各スピンドル1を駆動させる駆動制御手段15とから構成されるウェハ研磨装置20に於いて、当該複数のスピンドル部の内の一つにからリファレンス情報を取り出す様に構成されているウェハの研磨装置20。

請求項（抜粋）：

研磨パッドを主表面に有する回転テーブル、当該研磨パッドにウェハの被研磨面が対向して配置される様に該ウェハを保持し、且つ当該研磨パッドの研磨面と該ウェハの被研磨面とが所定の間隔を介して配置設定される様に制御されながら、所定の速度で回転せしめられる複数のスピンドル部、及び当該各スピンドルを駆動させる駆動制御手段とから構成されるウェハ研磨装置に於いて、当該複数のスピンドル部の内の一つからリファレンス情報を取り出す様に構成されている事を特徴とするウェハの研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 D , H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-318259
特開昭61-244460
特開平1-289656

全件表示

前のページに戻る