特許
J-GLOBAL ID：200903055882141874
垂直共振器型面発光レーザ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
, 河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-283520
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119831
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】温度変化や変調などによる大きな電流分布変動による時間的空間的な横モードの変動を抑えることができ、高速信号伝送時のモード毎の伝送特性の違いに起因するモード雑音を抑制する。【解決手段】半導体基板1上に、第1のDBR反射鏡2,活性層を含む発光領域層4,透明バッファ層5,第2のDBR反射鏡7を備え、積層方向に沿ってレーザ光を出力する垂直共振器型面発光レーザ素子であって、活性層4-1は、レーザ発振可能な光利得を持つと共に、非発光又は低光利得である不活性層4-2により分割される同心円構造を有し、バッファ層5は、同心円構造による回折光の0次回折光と1次以上の高次回折光とを空間的に分離し得る厚さに設定され、第2の反射鏡7は、0次回折光を反射し、高次回折光を反射しない範囲に選択的に形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の反射鏡と、この第1の反射鏡上に形成された活性層を含む発光領域層と、この発光領域層上に形成された透明バッファ層と、この透明バッファ層上に形成された第2の反射鏡とを備え、各反射鏡及び各層の積層方向に沿ってレーザ光を出力する垂直共振器型面発光レーザ素子であって、
前記活性層は、レーザ発振可能な光利得を持つと共に、非発光又は低光利得である不活性層により分割される同心構造を有し、該分割された活性層が各々前記同心構造の中心点からの放射方向に単一横モード発振となる幅に制限され、かつ該分割された活性層の間隔が互いに位相同期発振可能な寸法であり、
前記バッファ層は、前記同心構造による回折光の0次回折光と1次以上の高次回折光とを空間的に分離し得る厚さに設定され、
第2の反射鏡は、前記0次回折光を反射し、前記高次回折光を反射しない範囲に選択的に形成されていることを特徴とする垂直共振器型面発光レーザ素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
5F073AA55
, 5F073AA74
, 5F073AA89
, 5F073AB17
, 5F073BA02
, 5F073CA05
, 5F073CB02
, 5F073DA12
, 5F073DA15
, 5F073DA24
, 5F073DA35
, 5F073EA14
, 5F073EA18
, 5F073EA27
