感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-154801
公開番号（公開出願番号）：特開2008-020898
出願日： 2007年06月12日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】熱硬化工程後において高解像度、高耐熱性、高透明性を有し、さらにアルカリ処理後にすぐれた接着性を有する感光性シロキサン組成物を提供することにある。【解決手段】a)ポリシロキサン、(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)10時間半減期温度が90°C〜160°Cである熱ラジカル発生剤を含有する感光性シロキサン組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)ポリシロキサン、(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)10時間半減期温度が90°C〜160°Cである熱ラジカル発生剤を含有する感光性シロキサン組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/023 , G03F 7/004 , G03F 7/037 , G03F 7/075 , H01L 51/50 , H05B 33/22 , C08F 299/08

FI (8件)：

G03F7/023 , G03F7/004 501 , G03F7/037 , G03F7/075 511 , G03F7/075 521 , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , C08F299/08

Fターム (77件)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BC78 , 2H025BE01 , 2H025CB33 , 2H025CC03 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC05 , 3K107CC24 , 3K107CC25 , 3K107CC35 , 3K107DD90 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127BB041 , 4J127BB091 , 4J127BB221 , 4J127BC061 , 4J127BC151 , 4J127BD321 , 4J127BD331 , 4J127BE59Y , 4J127BE591 , 4J127BF71Y , 4J127BF711 , 4J127BF72Y , 4J127BF721 , 4J127BF75Y , 4J127BF751 , 4J127BG04Y , 4J127BG041 , 4J127BG05Y , 4J127BG051 , 4J127BG20Y , 4J127BG201 , 4J127BG38Y , 4J127BG381 , 4J127CA01 , 4J127EA05 , 4J127FA16 , 4J246AA03 , 4J246AB12 , 4J246AB14 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA140 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA25X , 4J246CA250 , 4J246CA34X , 4J246CA340 , 4J246CA40X , 4J246CA400 , 4J246CA65X , 4J246CA650 , 4J246CA67X , 4J246CA670 , 4J246FA071 , 4J246FA131 , 4J246FA421 , 4J246FA441 , 4J246FB031 , 4J246GB27 , 4J246GC26 , 4J246HA15

引用特許：

出願人引用 (5件)

特許第2933879号明細書(請求項1)
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-162359 出願人：東レ株式会社
アルカリ可溶性シロキサン重合体、ポジ型レジスト組成物、レジストパターン及びその製造方法、並びに、電子回路装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-375658 出願人：富士通株式会社, 住友化学工業株式会社

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