特許
J-GLOBAL ID:200903012842314368
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-162359
公開番号(公開出願番号):特開2006-018249
出願日: 2005年06月02日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【課題】光導波路のコアやクラッド材などの光学材料や有機電界発光素子や液晶表示素子などにおけるTFT基板用保護膜、層間絶縁材料などの半導体絶縁膜として耐クラック性、貯蔵安定性、透明性、耐熱性、低誘電性に優れた塗膜が形成可能なコーティング用組成物を得ること。【解決手段】(a)一般式(1)で表されるポリシロキサンと、オルガノシランとを反応させることによって得られるシロキサンポリマーと、(b)光により酸または塩基を発生する化合物を含有する感光性樹脂組成物。(R1、R6は、それぞれ、水素、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、炭素数1〜6のアシル基、およびそれらが置換された有機基を表す。R2、R3、R4、R5はそれぞれ水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基およびそれらが置換された有機基を表す。mは1〜1000を表す。)【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(a)一般式(1)で表される1種以上のポリシロキサンと一般式(2)で表されるオルガノシランとを混合、反応させることによって得られるシロキサンポリマーと、(b)光により酸または塩基を発生する化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/075
, G02F 1/133
, G03F 7/004
FI (4件):
G03F7/075 511
, G02F1/1333 505
, G03F7/004 501
, G03F7/004 503B
Fターム (17件):
2H025AA10
, 2H025AA11
, 2H025AA13
, 2H025AA20
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BD55
, 2H025BE00
, 2H025CC20
, 2H090HA04
, 2H090HB03X
, 2H090HC05
, 2H090HC11
, 2H090HC15
, 2H090HD01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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