特許
J-GLOBAL ID：200903055946826841

除電方法および除電機能を備えた処理装置

発明者：
立山 清久

立山 清久 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131615
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308428
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 イオナイザーを用いずに簡易に確実に処理装置の除電を行うことができる除電方法、およびこのような除電が可能な除電機能を有する処理装置を提供すること。【解決手段】 処理装置は、基板Sに処理を施す複数の処理機構を備えた処理部2と、基板Sを収容する被処理体収容部11と、静電気中和機能を有する部材Nを待機させる待機部13と、基板Sおよび部材Nを選択的に処理部2に対して搬入出する第1の搬送機構11と、処理部2内で各処理機構に対して基板Sまたは部材Nを搬入出する第2の搬送機構18,19と、所定数の基板Sの処理が終了した後、待機部13から部材Nを取り出し、その部材を基板Sの処理フロートの少なくとも一部のフローで装置内にフローさせるように第1および第2の搬送機構11,18,19を制御するコントローラ41とを具備しており、部材Nにより装置内を除電する。
請求項（抜粋）：
被処理体に所定の処理を施す処理装置において、装置内を除電する除電方法であって、静電気中和機能を有する部材を、被処理体の処理フローの少なくとも一部のフローで装置内にフローさせて装置内を除電することを特徴とする除電方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 503 G
引用特許：
審査官引用 (5件)
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