電離放射線検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-506280
公開番号（公開出願番号）：特表平10-509509
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】電離放射線検出器が開示されている。この検出器はエッチングにより一方の面に複数の並列リッジが形成されているフラット基板を備えている。リッジの並列側面には、電極として作用する導電物質の薄層が形成されている。検出される粒子または放射ビームは基板の平面に直交する方向にリッジに突き当たり、これにより電子/正孔キャリアがリッジ内に発生する。キャリアはビームに直交する方向に電極まで移動し、これにより電荷が電極に誘起される。キャリアは非常に短い距離だけを移動してリッジの側面に到達するので、読出しを非常に高速化することができる。

請求項（抜粋）：

検出器物質のシングル・ウェーハを具備し、前記ウェーハにはその表面に複数の並列側面付き溝が形成され、もって前記溝間に複数の並列側面付き検出エレメントが形成され、各検出エレメントの各々の背中合わせの側面には相反する読取り電極が設けられ、さらに、各検出エレメントの相反電極間に電位差を印加して前記エレメント両端に電界を発生する手段を具備することを特徴とする電離放射線検出器。

IPC (2件)：

G01T 1/16 , G01T 1/185

FI (2件)：

G01T 1/16 B , G01T 1/185 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-195236
デユアルエネルギ半導体センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-154482 出願人：株式会社島津製作所
半導体放射線検出器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-358667 出願人：株式会社ジャパンエナジー

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