特許
J-GLOBAL ID：200903055992061035

基板搬送装置および基板処理装置

発明者：
原田 明

原田 明 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-266314
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112489
出願日： 1996年10月07日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 搬送機構部の構成および機能の変更に柔軟かつ迅速に対応することができる基板搬送装置を提供することである。【解決手段】 搬送専用コントローラ20には、搬送機構部30の単位動作または複合動作がモジュール化されて動作パターンとして予めプログラムされ、各動作パターンに制御コードが割り付けられる。通信管理用コントローラ10は、メインコントローラ1から与えられるコマンドを解釈して動作パターンに対応する制御コードを搬送専用コントローラ20に所定のタイミングで出力する。搬送専用コントローラ20は、その制御コードに基づいて動作パターンを選択して実行するとともに、搬送機構部30の状態をステータスコードとして通信管理用コントローラ10に逐次送信する。
請求項（抜粋）：
上位制御系からの指令に従って基板を搬送する基板搬送装置であって、基板を保持して搬送する搬送動作を行う搬送機構部と、前記搬送機構部の動作パターンを予めプログラム可能な第1の制御部と、前記上位制御系と前記第1の制御部との間の通信を管理する第2の制御部とを備え、前記第2の制御部は、前記上位制御系からの指令を受信し、受信した指令を前記第1の制御部にプログラムされた動作パターンに対応する制御コードに変換し、変換した制御コードを前記第1の制御部に与え、前記第1の制御部は、前記第2の制御部から与えられる前記制御コードに基づいて前記プログラムされた動作パターンのいずれかを選択し、選択した動作パターンに従って前記搬送機構部を制御することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/02
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/02 Z
引用特許：
審査官引用 (5件)
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