特許
J-GLOBAL ID：200903056007153490
微小機械およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-071925
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260745
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 固定部に対して一部を接合された小さな可動部から成る微小機械で、可動部は薬品やガスによる処理、及び外力により変形を繰り返される使用に対して破損し難く、長期間安定に動作するものを提供する。【解決手段】 表面に凹部をもつSi基板300に酸化膜302、Si窒化膜303、平坦化したSi酸化膜304を順次成膜し、この上に単結晶Si板305を貼り合わせたSOI基板(A)から、エッチングでパターニングされた単結晶Si317を形成する(B)。次にフツ酸を含むエッチ液でSi酸化膜304をエッチして(C)のような微小機械を形成する。窒化膜303はこのエッチングのストッパとして働く。可動部311が変形しても固定部に突起307があるためにくっつくことはない。可動部311も固定部の基板300も共に単結晶なので、このような変形に対して丈夫で破損しにくい。
請求項（抜粋）：
可動部と、前記可動部に対向する固定部を有する微小機械において、前記可動部が単結晶シリコンであって、前記固定部には、前記可動部が前記固定部に接触する際の接触面積を低減せしめる凸部が設けられていることを特徴とする微小機械。
IPC (4件)：
H01L 49/00
, H01L 21/306
, H01L 27/12
, H01L 29/84
H01L 49/00
, H01L 27/12 B
, H01L 27/12 F
, H01L 29/84 A
, H01L 21/306 Z
