特許
J-GLOBAL ID：200903056012909447
ウェハ保持部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077908
公開番号（公開出願番号）：特開平9-267233
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】プラズマ発生用電極12への印加電圧による漏れ電流が発熱抵抗体14に伝わることを防止する。【解決手段】ウェハ20の載置面11aを備えたセラミック製板状体11の内部に発熱抵抗体14とプラズマ発生用電極12を埋設し、両者の間に漏れ電流防止層を備えてウェハ保持部材を構成する。
請求項（抜粋）：
ウェハの載置面を備えたセラミック製板状体の内部に発熱抵抗体とプラズマ発生用電極を埋設し、両者の間に漏れ電流防止層を備えたことを特徴とするウェハ保持部材。
IPC (5件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/205
, H01L 21/285
, H01L 21/3065
, H01L 21/68
B23Q 3/15 D
, H01L 21/205
, H01L 21/285 C
, H01L 21/68 N
, H01L 21/302 B
