特許
J-GLOBAL ID:200903056081542792

固体撮像素子用カバーガラス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  山根 広昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-385619
公開番号(公開出願番号):特開2004-221541
出願日: 2003年11月14日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
【課題】表面や内部の欠陥に関して高い品位を有し、安価で耐候性に優れ、かつ、より一層軽量で高強度な固体撮像素子用カバーガラスを提供する。【解決手段】平板ガラスの側面12は、第一透光面11aに対して略垂直をなす第一側面部12aと、第一側面部12aに対して傾斜している第二側面部12bとによって構成される。第一側面部12aの表面粗さは第二側面部12bの表面粗さよりも大きく、第一側面部12aの表面粗さのRa値は0.1〜10nm、Rmax値は0.1〜30nmであり、第二側面部12bの表面粗さのRa値は0.1〜5nm、Rmax値は0.1〜20nmである。第一側面部12aが第一透光面11aに対してなす角度は90°±5°の範囲内にあり、第二側面部12bが第一側面部12aに対してなす角度は8°以下である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
無機酸化物ガラス製の平板ガラスからなり、該平板ガラスの板厚方向に相対向する第一透光面及び第二透光面と、該平板ガラスの周縁を構成する側面とを有する固体撮像素子用カバーガラスにおいて、 前記側面は、前記第一透光面に隣接する第一側面部と、該第一側面部及び前記第二透光面に隣接する第二側面部とを備え、 前記第一側面部の表面粗さは前記第二側面部の表面粗さよりも大きく、前記第一側面部の表面粗さのRa値は0.1〜10nm、Rmax値は0.1〜30nmであり、前記第二側面部の表面粗さのRa値は0.01〜5nm、Rmax値は0.01〜20nmであり、 前記第一側面部が前記第一透光面に対してなす角度が90°±5°の範囲内にあり、 前記第二側面部が前記第一側面部に対してなす角度が8°以下であることを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。
IPC (2件):
H01L23/02 ,  H01L27/14
FI (3件):
H01L23/02 F ,  H01L23/02 J ,  H01L27/14 D
Fターム (5件):
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118FA06 ,  4M118HA02
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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