特許

J-GLOBAL ID：200903056119528080

メッキ検査方法

発明者： 芳賀 孝行
出願人/特許権者： 国際技術開発株式会社
代理人 (1件)： 村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-039256
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228099
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 モノクロ画像からメッキされているか否かを高精度で判別する。【解決手段】 下地とメッキした金属とで、他の波長領域より反射率の大きく異なる特定波長の光を検査対象に照射し、この特定波長の光に基づいたモノクロ画像を得、このモノクロ画像を例えば2値画像にしてメッキした金属と下地とを区別する。

請求項（抜粋）：

検査対象のモノクロ画像を得、このモノクロ画像に基づいてメッキがされているか否かを判別するメッキ検査方法において、下地とメッキした金属とで、他の波長領域より反射率の大きく異なる特定波長の光を前記検査対象に照射し、この特定波長の光に基づいたモノクロ画像を得ることを特徴とするメッキ検査方法。

IPC (6件)：

G01N 21/956 ,  C25D 5/02 ,  C25D 21/12 ,  G01N 21/27 ,  G01N 33/20 ,  H01L 23/12

FI (6件)：

G01N 21/956 B ,  C25D 5/02 Z ,  C25D 21/12 C ,  G01N 21/27 A ,  G01N 33/20 Q ,  H01L 23/12 L

Fターム (25件)：

2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051BA04 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G055AA07 ,  2G055CA20 ,  2G055EA10 ,  2G055FA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059HH02 ,  2G059KK04 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04 ,  4K024AA11 ,  4K024AB08 ,  4K024BA09 ,  4K024BB12 ,  4K024CB24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 鍍金検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-026194   出願人：ジャパン・イー・エム株式会社
• 薄膜配線の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-125163   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭63-255646