吸着パッド、吸引治具、及び吸着パッドの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 江口昭彦 , 杉浦秀幸 , 村山靖彦 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-254570
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095831
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】強度を確保するとともに、高い通気性を得る。【解決手段】吸引によって部品等を搬送あるいは固定する吸引治具1における吸着面Fに用いられる吸着パッド3のパッド本体6を、微細粒子が焼結されてなり、吸着面Fをなす面から冶具本体2内側を向く面まで通じる空隙を有する多孔質焼結体によって構成する。パッド本体6を、その吸着面F側に設けられて微細粒子間に互いに連通する三次元網目構造の空隙が形成された緻密層11と、冶具本体2の開口部2aに向けられる側に設けられて微細粒子が焼結されてなる中実の骨格間に、互いに連通する空隙が形成された三次元網目構造をなす高空隙率層12とを有する構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

吸引によって部品等を搬送あるいは固定する吸引治具の吸着面に用いられる吸着パッドであって、パッド本体は、微細粒子が焼結されてなる多孔質焼結体とされ、該パッド本体は、前記吸着面側に設けられて前記微細粒子間に互いに連通する三次元網目構造の空隙が形成された緻密層と、前記吸引冶具側に設けられて前記微細粒子が焼結されてなる中実の骨格間に、互いに連通する空隙が形成された三次元網目構造をなす高空隙率層とを有していることを特徴とする吸着パッド。

IPC (4件)：

H01L21/68 , B22F3/11 , B22F7/04 , B65G49/07

FI (6件)：

H01L21/68 B , H01L21/68 P , B22F3/11 B , B22F7/04 D , B22F7/04 E , B65G49/07 G

Fターム (20件)：

4K018AD01 , 4K018AD04 , 4K018AD06 , 4K018AD07 , 4K018CA08 , 4K018CA45 , 4K018CA50 , 4K018DA01 , 4K018DA03 , 4K018DA11 , 4K018HA08 , 4K018JA02 , 4K018KA22 , 5F031CA02 , 5F031CA13 , 5F031GA23 , 5F031GA24 , 5F031HA02 , 5F031HA13 , 5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (6件)

吸着搬送方法および吸着加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-372429 出願人：日東電工株式会社
サーメット及びそのサーメットの製造方法並びにそのサーメットの使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-187522 出願人：冨士ダイス株式会社
特開平3-138304

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