特許
J-GLOBAL ID：200903056203021578
荷電粒子ビーム装置におけるビーム電流測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340152
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176365
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 マルチビーム型荷電粒子ビーム装置においてビーム電流値が簡単に測定出来るようにしたビーム電流測定方法を提供する。【解決手段】 各カラムの光軸上に、対応させて設けたビーム収集器13a〜13nの中心が来るように、ステージ18を移動させる。制御装置20は、ブランキング信号発生器19a〜19nから順次一定時間ずつ遅れて、一定時間だけブランキングオフする(該一定時間以外はブランキングオンする)ブランキング信号がブランカ11a〜11nに送られるように各ブランキング信号発生器19a〜19nに指令を発する。その結果、各カラムにおいて順次、電子ビームがビーム収集器に収集され、該電子ビームが電流計14により電流値に換算され、制御装置20は、この電流値をカラムのビーム電流値として、記録計,モニターに記録,表示する。
請求項（抜粋）：
集束レンズ,偏向レンズ,ブランキング偏向器,及びブランキング用遮蔽板を有する複数の電子光学系、該各電子光学系に対応させたビーム収集器を及び被処理材料を載置したステージを備えた荷電粒子ビーム装置におけるビーム電流測定方法であって、該各ビーム収集器が共通の電流計に繋がるようにし、各電子光学系に入射されたビームがそれぞれ異なった時間にブランキングオフされるように前記各ブランキング偏向器にブランキング信号を供給し、該各ブランキングオフ時に、対応したビーム収集器に収集された荷電粒子ビームに基づいて、ビーム電流を測定するようにした荷電粒子ビーム装置におけるビーム電流測定方法。
IPC (5件)：
H01J 37/04
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04
, H01J 37/305
, H01L 21/027
H01J 37/04 A
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04 M
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 N
