粒子の帯電量分布測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐野静夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277315
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136503
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】零点補正のための帯電量分布測定を正確に行ない得るようにした粒子の帯電量分布測定装置を提供する。【構成】粒子45を測定セル4へ供給して下方向へ走行させ、その走行途中で電界をかけて粒子の前記所定方向からのずれ量又は、ずれ移動速度を検出し、その検出出力に基いて帯電量分布を測定する粒子の帯電量分布測定装置である。粒子供給の際に除電装置40によって粒子通路に軟X線を照射して通路中に高濃度の正・負イオンと電子を生成する。この除電装置40により除電された粒子の走行中は前記電界をかけずに帯電量分布測定を行なう。得られた帯電量分布の中心を零点に合わせる。

請求項（抜粋）：

粒子を測定セルへ供給して所定方向へ走行させ、その走行途中で電界をかけて粒子の前記所定方向からのずれ量又は、ずれ移動速度を検出し、その検出出力に基いて帯電量分布を測定する粒子の帯電量分布測定装置において、粒子供給の際に粒子通路に軟X線を照射して粒子の除電を行なう除電手段を設けるとともに、この除電手段により除電された粒子の走行中は前記電界をかけずに帯電量分布測定を行なうことを特徴とする粒子の帯電量分布測定装置。

IPC (4件)：

G01N 27/60 , G01N 15/02 , G01N 15/14 , G01R 29/24

引用特許：

審査官引用 (8件)

気体清浄化手段を有する搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-056323 出願人：荏原インフィルコ株式会社, 株式会社荏原総合研究所
イオン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-120507 出願人：浜松ホトニクス株式会社
トナー測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-080353 出願人：轡田昇, ホソカワミクロン株式会社

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