特許

J-GLOBAL ID：200903056421671940

ターボ分子ポンプ

発明者： 関田 幸照 ,  黒田 晋一
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-016281
公開番号（公開出願番号）：特開2007-198205
出願日： 2006年01月25日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】ターボ分子ポンプから真空処理室内へのパーティクルの逆流を抑制する。【解決手段】ポンプケーシング内に回転自在に軸支され軸方向に多段のロータ翼を有するロータと、ロータ翼間に固定され軸方向に多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプであり、吸気口から入射したパーティクルがロータ翼3と衝突する割合を低下させるために、吸い込み側1段目のロータ翼3の翼部3aは、パーティクルとの衝突を減らすために、吸い込み側1段目のロータ翼の翼部の径方向部分の総面積を、吸い込み側2段目のロータ翼3bの翼部の径方向部分の総面積よりも小さい構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ポンプケーシング内に回転自在に軸支され軸方向に多段のロータ翼を有するロータと、 前記ロータ翼間に固定され軸方向に多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、 前記吸い込み側1段目のロータ翼の翼部の径方向部分の総面積は、吸い込み側2段目のロータ翼の翼部の径方向部分の総面積よりも小さいことを特徴とする、ターボ分子ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04

FI (1件)：

F04D19/04 D

Fターム (6件)：

3H031DA02 ,  3H031EA00 ,  3H031FA01 ,  3H131AA02 ,  3H131BA00 ,  3H131CA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-143107   出願人：株式会社大阪真空機器製作所
• 排気装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-172946   出願人：富士通株式会社