特許
J-GLOBAL ID：200903056447688671
カラーフィルターの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160715
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005825
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 顔料分散感光性樹脂をフォトリソグラフィ法によりパターニングする顔料分散法を用いたカラーフィルターの製造方法において、基板外周部に現像残査のないカラーフィルターを作製する。【構成】 スピンコーティング法により塗布したレジストを露光した後で、基板1外周部に選択的に現像液を染み込ませてから現像を行う。スピンコーティング法によって基板1外周部に生じたレジストの盛り上がり部分2,3を含む領域に現像液が染み込んで現像速度が速くなるので、画素部に対する適性な現像時間で盛り上がり部分2,3の除去も完了する。
請求項（抜粋）：
基板上に顔料分散感光性樹脂をスピンコーティング法により塗布した後、露光、現像を経て所望の着色画素を形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法において、現像工程の前に基板外周部に選択的に現像液を染み込ませることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
引用特許：
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