特許
J-GLOBAL ID：200903056449721145

塩化水素ガスの供給方法及び塩化水素ガスの供給装置

発明者：
岡本 王孝

岡本 王孝 について

, 
西久保 正典

西久保 正典 について


出願人/特許権者：
株式会社SUMCO

株式会社SUMCO について


代理人 (2件)： 須田 正義 ,  早川 利明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-137709
公開番号（公開出願番号）：特開2009-287591
出願日： 2008年05月27日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：
【課題】ボンベ内の液化塩化水素を気化するときに2段階で減圧しなくても、またボンベ内の液化塩化水素の供給量が変動しても、更にボンベに貯留された液化塩化水素の残量が少なくなっても、液化塩化水素の気化した塩化水素ガスの純度を良好に保ち、これにより安定して高いライフタイムを実現し、これによりエピタキシャルウェーハ等の製品の品質の低下を防止する。【解決手段】ボンベ11に貯留された液化塩化水素12を気化して半導体製造工程に供給する。ボンベの外面にこのボンベに貯留された液化塩化水素に対向して取付けられた外付け温調器16又はボンベの設置室内に設けられた温調装置28のいずれか一方又は双方により構成された加温手段がボンベを加温し、ボンベの外面温度を検出する温度センサ17の検出出力に基づいてコントローラ19が加温手段を制御してボンベを加温する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ボンベに貯留された液化塩化水素を気化して半導体製造工程に供給する塩化水素ガスの供給方法において、 前記ボンベの外面にこのボンベに貯留された液化塩化水素に対向して取付けられた外付け温調器又は前記ボンベの設置室内に設けられた温調装置のいずれか一方又は双方により構成され前記ボンベを加温可能な加温手段を有し、 前記ボンベの外面温度を検出する温度センサの検出出力に基づいてコントローラが前記加温手段を制御して前記ボンベを加温することを特徴とする塩化水素ガスの供給方法。
IPC (4件)：
F17C 7/00 ,  F17C 13/02 ,  C23C 16/02 ,  H01L 21/205
FI (4件)：
F17C7/00 A ,  F17C13/02 301Z ,  C23C16/02 ,  H01L21/205
Fターム (30件)：
3E172AA02 ,  3E172AA06 ,  3E172AB16 ,  3E172BA01 ,  3E172BB05 ,  3E172BB12 ,  3E172BB17 ,  3E172EB02 ,  3E172EB07 ,  3E172EB11 ,  3E172GA01 ,  3E172GA24 ,  3E172JA08 ,  3E172KA03 ,  3E172KA23 ,  4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA17 ,  4K030BA29 ,  4K030BB02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA04 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030KA22 ,  4K030LA15 ,  5F045AC13 ,  5F045BB14 ,  5F045EE02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
  • 高流量でのガス送出
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-592163   出願人：プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド

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