特許

J-GLOBAL ID：200903072511986083

高流量でのガス送出

発明者： オートゥール パント ,  メルビン リチャードソン ,  マイク レシュナー
出願人/特許権者： プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 倉内 基弘 ,  風間 弘志
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-592163
公開番号（公開出願番号）：特表2004-527712
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

本発明は、液化圧縮高純度半導体ガスを貯蔵容器に送り、圧縮ガス貯蔵容器の壁に温度測定手段を配置し、貯蔵容器に接近させて少なくとも1個の加熱手段を配置し、生じる温度を温度測定手段で監視し、貯蔵容器の出口に圧力測定手段を配置して容器圧を監視し、加熱手段の熱出力を調整して貯蔵容器内の液化圧縮ガスを加熱し、貯蔵容器内の液化圧縮ガスの蒸発を制御し、そして貯蔵容器からのガスの流れを制御することを含む液化圧縮ガスの高流量送出法に関する。

請求項（抜粋）：

貯蔵容器において液化圧縮ガスの温度を制御する方法において、 a.液化圧縮ガスを貯蔵容器に送り、 b.圧縮ガス貯蔵容器の壁に温度測定手段を配置し、 c.貯蔵容器に接近させて少なくとも1個の加熱手段を配置し、 d.貯蔵容器内の圧縮ガスの温度を温度測定手段で監視し、そして e.加熱手段の出力を調整して貯蔵容器内の液化圧縮ガスを加熱する、 ことを含む液化圧縮ガスの温度制御法。

IPC (1件)：

F17C7/00

FI (1件)：

F17C7/00 A

Fターム (3件)：

3E072AA03 ,  3E072DB03 ,  3E072GA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 液化ガスの制御配給システム及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-321696   出願人：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
• LPG蒸発器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-351974   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 特開昭62-237328