特許

J-GLOBAL ID：200903056477623949

光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法

発明者： 広瀬 智財 ,  小山 健二
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 上代 哲司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368541
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169044
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 石英ガラスウエハ基板21上に形成された光回路22をダイシングソーで切り出す際に、生じたチッピングで光回路が破壊されること、また、このチッピングが光導波路デバイスを使用している間に成長し光回路が破損することを防ぐ。【解決手段】 石英ガラスウエハ基板21上にコア12とオーバークラッド13からなる光回路22が複数形成された光回路ウエハのオーバークラッド13上に薄膜を形成し、光導波路デバイスの薄膜側を凸とする。

請求項（抜粋）：

石英ガラス基板上に、コアとオーバークラッドを有する光導波路デバイスにおいて、前記光導波路デバイスは、前記オーバークラッド上にさらに薄膜を有し前記薄膜側が凸になるようそっていることを特徴とする光導波路デバイス。

IPC (2件)：

G02B 6/122 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M

Fターム (5件)：

2H047KA04 ,  2H047PA01 ,  2H047PA24 ,  2H047QA07 ,  2H047TA00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光導波路基板の製造方法および光導波路基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-015993   出願人：住友電気工業株式会社
• ガラス導波路素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-063392   出願人：日立電線株式会社