超音波モータ用ステータの研磨方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190764
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018166
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】圧電素子を接合する接合面の研磨むらを防止することができる超音波モータ用ステータの研磨方法を提供する。【解決手段】圧電素子12を接合するための接合面11aを有するプレステータ20が、研磨装置30の定盤32に対して接合面11aが対向するように配置される。そして、その定盤32が回転して、液体と砥粒とを混合した研磨液により接合面11aが所定の粗さに研磨される。従って、研磨液は液体であるので、接合面11a全体に一様に行き渡り、接合面11aが均一に研磨される。

請求項（抜粋）：

圧電素子(12)を接合するための接合面(11a)を有する被接合体(20)を研磨装置(30)の定盤(32)に対して前記接合面(11a)が対向するように配置し、その定盤(32)と前記被接合体(20)とを相対的に回転させて接合面(11a)を研磨材(36)により所定の粗さに研磨する超音波モータ用ステータの研磨方法であって、前記研磨材(36)は、液体と砥粒とを混合した研磨液(36)よりなることを特徴とする超音波モータ用ステータの研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , H02N 2/00

FI (3件)：

B24B 37/00 H , B24B 37/04 B , H02N 2/00 C

Fターム (28件)：

3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AB04 , 3C058AC04 , 3C058BA02 , 3C058BA07 , 3C058BA09 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 3C058DA02 , 5H680AA00 , 5H680BB03 , 5H680BB16 , 5H680CC07 , 5H680DD01 , 5H680DD02 , 5H680DD15 , 5H680DD23 , 5H680DD53 , 5H680DD66 , 5H680DD75 , 5H680DD85 , 5H680EE03 , 5H680EE11 , 5H680FF08 , 5H680FF14 , 5H680GG34 , 5H680GG41

引用特許：

審査官引用 (4件)

超音波モータのステータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-316028 出願人：アスモ株式会社
超音波モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-341079 出願人：株式会社ニコン
片面ラッピング・ポリッシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-007277 出願人：松下電器産業株式会社

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