特許
J-GLOBAL ID：200903056489475074
透光性材料からなる透光性物品の検査方法、ガラス基板の欠陥検査方法及び装置、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法、並びに、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、及び半導体装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
阿仁屋 節雄
, 油井 透
, 清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-042996
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086050
出願日： 2006年02月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【目的】 透光性物品における光学的な不均一性の有無を正確に検査できる透光性物品の検査方法を提供する。【構成】 透光性物品に200nm以下の波長を有する検査光を導入した場合に、該透光性物品内部で前記検査光が伝播する光路に前記局所又は局部的に光学特性が変化する部位がある場合にこの部位から発せられる光であって前記検査光の波長よりも長い光を感知することにより、前記透光性物品における光学的な不均一性の有無を検査する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
光リソグラフィーに使用され、透光性材料からなる透光性物品の内部に、露光光に対して局所又は局部的に光学特性が変化する不均一性の有無を検査する透光性物品の検査方法において、
前記透光性物品に200nm以下の波長を有する検査光を導入した場合に、該透光性物品内部で前記検査光が伝播する光路に前記局所又は局部的に光学特性が変化する部位がある場合にこの部位から発せられる光であって前記検査光の波長よりも長い光を感知することにより、前記透光性物品における光学的な不均一性の有無を検査することを特徴とする透光性物品の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2G043AA03
, 2G043CA07
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043KA02
, 2G043KA08
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2G051AA56
, 2G051AB06
, 2G051BA05
, 2G051BA10
, 2G051CA04
, 2G051CB10
, 2H095BB01
, 2H095BB03
