特許
J-GLOBAL ID：200903056541793845
結晶欠陥検査装置及び結晶欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-394506
公開番号（公開出願番号）：特開2005-158961
出願日： 2003年11月25日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 試料の結晶欠陥を効率的に検査することのできる装置を提供する。【解決手段】 エッチング液2を収容する液槽10と、エッチング液2中に浸漬された試料1が、エッチング液2によりエッチングされた量を計測する計測器30と、計測したエッチング量を入力して所定値と比較すると共に、その計測したエッチング量がその所定値以上の場合に、取り出し信号を出力する制御部32と、その取り出し信号が入力されると、試料1を液槽10内のエッチング液2から取り出す昇降器20と、試料1の表面に付着しているエッチング液2を洗浄する洗浄液Wを噴射する洗浄用ノズル40と、試料1の表面に存在する結晶欠陥の数を求める画像処理部80とを備えてなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査物である試料の結晶欠陥を検査する装置であって、
試料の表面をエッチングするエッチング液を収容可能に形成された液槽と、
その液槽内のエッチング液中に浸漬された試料が、エッチング液によりエッチングされた量を計測する計測手段と、
その計測手段の計測結果を入力して所定値と比較すると共に、その計測結果が当該所定値以上の場合に、取り出し信号を出力する制御部と、
試料を上記液槽のエッチング液の内外に移送自在に支持すると共に上記制御部からの信号を入力可能に形成され、上記制御部からの上記取り出し信号を入力すると、支持した試料を上記液槽のエッチング液中から取り出す試料移送手段と、
その試料移送手段の取り出した試料の表面に洗浄液を注いで、その表面に付着しているエッチング液を洗い流す洗浄手段と、
洗浄した試料の表面に存在する結晶欠陥の数を求める計数手段とを備えてなることを特徴とする結晶欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/66 N
, G01N21/956 A
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051ED08
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA05
, 4M106CB19
, 4M106DH55
