光学要素の支持構造、それを用いた露光装置及び半導体デバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-080798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343576
出願日： 2001年03月21日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】温度環境の変化や、組み付けの際に発生する歪みに起因するレンズ面の変形を軽減することができ、安定で、収差が小さく、高い解像力を得ることが可能となる光学要素の支持構造、および該支持構造を用いて構成された露光装置等の光学装置と、該装置による半導体デバイス等の製造方法を提供する。【解決手段】光学要素を支持する光学要素の支持構造であって、前記光学要素を支持する第1の支持部材と、前記第1の支持部材の外径側に位置し、前記第1の支持部材を支持する第2の支持部材とを有し、該第2の支持部材は、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第1の支持部材と結合し、外径側が前記第2の支持部材と結合し、径方向に弾性変形可能な弾性部材を備え、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とが軸方向において非接触であるように構成する。

請求項（抜粋）：

光学要素を支持する光学要素の支持構造であって、前記光学要素を支持する第1の支持部材、前記第1の支持部材の外径側に位置し、前記第1の支持部材を支持する第2の支持部材を有し、該第2の支持部材は、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第1の支持部材と結合し、外径側が前記第2の支持部材と結合し、径方向に弾性変形可能な弾性部材を備え、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とが軸方向において非接触であることを特徴とする光学要素の支持構造。

IPC (3件)：

G02B 7/02 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 7/02 F , G02B 7/02 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D

Fターム (11件)：

2H044AA02 , 2H044AA20 , 2H044AH04 , 2H044AH14 , 2H044AJ05 , 5F046BA03 , 5F046BA05 , 5F046CB02 , 5F046CB12 , 5F046CB20 , 5F046CB26

引用特許：

出願人引用 (8件)

光学素子支持装置及び鏡筒並びに投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-031682 出願人：株式会社ニコン
特開平2-281201
VUV耐性のレンズ及び縁枠の結合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-351182 出願人：カール・ツアイス・スティフツング

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審査官引用 (9件)

光学素子支持装置及び鏡筒並びに投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-031682 出願人：株式会社ニコン
特開平2-281201
特開平2-281201

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