特許
J-GLOBAL ID：200903056571333628
半導体発光素子用の電極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢口 平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288770
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121804
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 半導体側に形成された金属薄膜と該金属薄膜の上部に形成された金属酸化物薄膜とを有する透光性電極と金属薄膜よりなるワイヤボンド用のパッド電極とからなる半導体発光素子用の電極において、透光性電極とパッド電極との電気的接触を確実に得ることができ、かつ、電極下での発光を有効に取り出すことのできる構造の電極を提供する。さらに、電極とワイヤの接着強度を改良した電極を提供する。【解決手段】 透光性電極の一部をパッド電極上の少なくとも一部に重ねて形成する。特に透光性電極をパッド電極上の全面を覆って形成し、パッド電極と重なった部分の透光性電極の金属酸化物薄膜を除去する。さらに、パッド電極と重なった部分の透光性電極の金属酸化物薄膜を除去し、その部分に金線との接着性に優れる金属を積層する。
請求項（抜粋）：
半導体側に形成された金属薄膜と該金属薄膜の上部に形成された金属酸化物薄膜とを有する透光性の第1の電極と金属薄膜よりなるワイヤボンド用の第2の電極とからなる半導体発光素子用の電極において、前記第1の電極の一部を前記第2の電極上の少なくとも一部に重ねて形成したことを特徴とする半導体発光素子用の電極。
FI (2件)：
H01L 33/00 E
, H01L 33/00 C
