特許
J-GLOBAL ID：200903056632767898
共焦点スリットスキャナを備える、対象物を結像するための走査型顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
加藤 朝道
, 内田 潔人
, 三宅 俊男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-555992
公開番号（公開出願番号）：特表2006-510926
出願日： 2003年09月23日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 高い走査速度と改善されたS/N比で検出する走査顕微鏡の提供。【解決手段】 本発明は、対象物(1)を結像するための走査型顕微鏡であって、光源(2)と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択素子(8)と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択性検出装置(4)と、光源(2)から対象物(1)まで延在する照明ビーム路(3)と、対象物(1)から検出装置(4)まで延在する検出ビーム路(5)とを有し、スペクトル選択素子(8)により光源の光が対象物照明のために選択可能であり、スペクトル選択素子(8)により、対象物(1)で反射および/または散乱された光源(2)の選択光が検出ビーム路(5)から分離可能であり、検出ビーム路(5)に延在する光の少なくとも1つの波長領域がスペクトル選択性検出装置(4)により検出可能である走査型顕微鏡に関する。そして対象物(1)を高い走査速度と改善されたS/N比の下で検出するために、照明ビーム路(3)と検出ビーム路(5)とは共焦点スリットスキャナのように構成されている。
請求項（抜粋）：
対象物(1)を結像するための走査型顕微鏡であって、光源(2)と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択素子(8)と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択性検出装置(4)と、光源(2)から対象物(1)まで延在する照明ビーム路(3)と、対象物(1)から検出装置(4)まで延在する検出ビーム路(5)とを有し、
スペクトル選択素子(8)により光源の光が対象物照明のために選択可能であり、
スペクトル選択素子(8)により、対象物(1)で反射および/または散乱された光源(2)の選択光が検出ビーム路(5)から分離可能であり、
検出ビーム路(5)に延在する光の少なくとも1つの波長領域がスペクトル選択性検出装置(4)により検出可能である形式の走査型顕微鏡において、
照明ビーム路(3)と検出ビーム路(5)とは共焦点スリットスキャナのように構成されている、ことを特徴とする走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (35件)：
2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE02
, 2G059EE07
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH06
, 2G059JJ06
, 2G059JJ11
, 2G059JJ15
, 2G059JJ18
, 2G059JJ25
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB25
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC16
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AC34
, 2H052AD31
, 2H052AD35
, 2H052AF07
, 2H052AF14
出願人引用 (3件)
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DE4330347A1
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DE19902625A1
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DE19906757A1
審査官引用 (3件)
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