特許
J-GLOBAL ID:200903056656766965

紫外線光処理チャンバ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-529088
公開番号(公開出願番号):特表2009-508663
出願日: 2006年08月11日
公開日(公表日): 2009年03月05日
要約:
概して、本発明は、紫外線光を使用する液体および気体の処理のための方法および装置に関する。一実施形態において、反射性材料で被覆され、紫外線ランプと、それを通される液体の処理のためのチャンバを貫通する紫外線透過管とを含む、実質的に密閉されたチャンバが開示される。
請求項(抜粋):
液体の処理のための装置であって、 少なくとも80パーセント密閉されることを特徴とするチャンバと、 前記チャンバ内に含まれる紫外線ランプと、 液体が通り進むための、前記チャンバを貫通する紫外線透過管と、 少なくとも80パーセントの反射率であることを特徴とする、前記チャンバを被覆する反射性材料と を備えることを特徴とする装置。
IPC (2件):
C02F 1/32 ,  B01J 19/12
FI (2件):
C02F1/32 ,  B01J19/12 C
Fターム (21件):
4C058AA01 ,  4C058BB06 ,  4C058KK02 ,  4C058KK28 ,  4C058KK32 ,  4D037AA02 ,  4D037AA03 ,  4D037AB03 ,  4D037BA18 ,  4G075AA03 ,  4G075AA13 ,  4G075AA37 ,  4G075BA10 ,  4G075CA33 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB21 ,  4G075EB33 ,  4G075FB02 ,  4G075FB12
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 米国特許第4,948,980号
  • 米国特許出願公開第2004/0166018号
  • 米国特許第6,228,332号
審査官引用 (5件)
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