特許
J-GLOBAL ID：200903056727948970

透過型電子顕微鏡

発明者：
谷口 佳史

谷口 佳史 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-173689
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006601
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】本発明は、EF-TEMの身長の増大を抑制、或いは減少しつつ、基本性能を向上するエネルギーフィルター透過型電子顕微鏡の提供を目的とするものである。【解決手段】上記課題を解決するために電子銃から発生する電子線を試料に照射し、試料を透過した電子線をエネルギーフィルターでエネルギー分光し、観察面に投影する透過型電子顕微鏡において、前記エネルギーフィルターの入力クロスオーバー面に電子線の回折像、或いは試料像の虚像を形成すると共に、前記エネルギーフィルターの入力像面に、前記回折像或いは前記試料像の内、前記入力クロスオーバー面に形成される像とは異なる像の実像を形成するレンズを備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡を提供する。
請求項（抜粋）：
電子銃から発生する電子線を試料に照射し、試料を透過した電子線をエネルギーフィルターでエネルギー分光し、観察面に投影する透過型電子顕微鏡において、前記エネルギーフィルターの入力クロスオーバー面に電子線の回折像、或いは試料像の虚像を形成すると共に、前記エネルギーフィルターの入力像面に、前記回折像或いは前記試料像の内、前記入力クロスオーバー面に形成される像とは異なる像の実像を形成するレンズを備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/14 ,  H01J 37/147
FI (4件)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/14 ,  H01J 37/147 A
Fターム (7件)：
5C033AA03 ,  5C033AA05 ,  5C033DD07 ,  5C033EE04 ,  5C033EE05 ,  5C033SS03 ,  5C033SS08
引用特許：
出願人引用 (8件)
  • 特公平6-042358
  • エネルギーフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-043585   出願人：日本電子株式会社
  • オメガ型エネルギーフィルター
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-302829   出願人：日本電子株式会社
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