X線源

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350629
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180894
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【目的】小型、簡便で適用範囲が広く、特に微小物観測で高性能を発揮するX線源を提供することである。【構成】エミッタチップ11と引き出し電極12と集束電極13とが一体となった電界放出型の微小電子源10と、対陰極冷却用手段24,34,44を備えた対陰極23,33,43とが真空容器21,31,41内に封入されて構成されている。

請求項（抜粋）：

エミッタチップと引き出し電極と集束電極とが一体となった電界放出型微小電子源と、対陰極冷却用手段を備えた対陰極とが真空容器内に封入されて構成されていることを特徴とするX線源。

IPC (4件)：

H05G 1/00 , G21K 5/02 , G21K 7/00 , H05G 1/02

FI (4件)：

H05G 1/00 D , G21K 5/02 X , G21K 7/00 , H05G 1/02 P

引用特許：

出願人引用 (6件)

X線発生装置の冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253075 出願人：理学電機株式会社
超小型表面センサー及び表面測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-079558 出願人：三菱電機株式会社
電界放出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-064360 出願人：双葉電子工業株式会社, 工業技術院長

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審査官引用 (6件)

X線発生装置の冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253075 出願人：理学電機株式会社
超小型表面センサー及び表面測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-079558 出願人：三菱電機株式会社
電界放出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-064360 出願人：双葉電子工業株式会社, 工業技術院長

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